EDI是电渗析技术和离子交换技术有机结合形成的一种新型脱盐技术,可以有效去除水中几乎所有的阴离子和阳离子,耐水性可以 实验室edi超纯水设备稳定在15Mome以上。CM连续运行,无化学污染,水利用率高,实验室edi超纯水设备在超纯水制备中具有较强的优势和广阔的应用前景。通过离子交换树脂和选择性渗透离子膜可以实现高脱盐效果,实验室edi超纯水设备该膜可以与反渗透系统相结合,生产电阻率为10:17mΩCM的高规格纯水。
超纯水设备可以在芯片生产过程中产生超纯水进行清洗,保证了芯片的质量率。
实验室edi超纯水设备双反渗透、EDI和抛光混床相结合的制水工艺具有水利用率高、运行可靠、经济合理等特点。
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